Název: Photonometers for coating and sputtering machines
Autoři: Oupický, Pavel ; Jareš, Daniel ; Václavík, Jan ; Vápenka, David
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: OaM 2012 International Conference on Optics and Measurement, Liberec (CZ), 2012-10-16 / 2012-10-18
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: The concept of photonometers (alternative name of optical monitor of a vacuum deposition process)for coating and sputtering machines is based on photonometers produced by companies like SATIS or HV Dresden. Photometers were developed in the TOPTEC centre and its predecessor VOD (Optical Development Workshop of Institut of Plasma Physics AS CR) for more than 10 years. The article describes current status of the technology and ideas which will be incorporated in next development steps. Hardware and software used on coating machines B63D, VNA600 and sputtering machine UPM810 is presented.
Klíčová slova: photonometers
Číslo projektu: ED2.1.00/03.0079
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: OaM/ 2012/ Optics and Measurement International Conference. Conference Proceedings, ISBN 978-80-87026-02-1

Instituce: Ústav fyziky plazmatu AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0230678

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-170406


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky plazmatu
Konferenční materiály > Příspěvky z konference