Název: Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii
Překlad názvu: Design and Simulation of Micro-Bolometer in MEMS Technology
Autoři: Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (oponent) ; Hubálek, Jaromír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2014
Jazyk: eng
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [eng] [cze]
Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán. This master thesis studies the infrared detector called bolometer. The task is to improve the infrared detection by using different type of absorption layer modified by the carbon nanotubes. In theoretical part there are basic terms of thermal engineering and basics definitions of bolometer physics. The bolometer design is presented and described. The thermal mechanical simulations are evaluating the operation behavior. PSpice model of bolometer is created combing the thermal and electrical properties of the bolometer chip. The fabrication process is then presented and detailed described.
Klíčová slova: design; fabrication process; Infrared detectors; microbolometer; simulation.; thermal engineering; design; Detektory infračerveného záření; mikrobolometr; simulace.; teplotní managment; výrobní proces

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/32295

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-221020


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce