Název: Charakterizace struktur připravených selektivním mokrým leptáním křemíku
Překlad názvu: Characterization of structures fabricated by selective wet etching of silicon
Autoři: Metelka, Ondřej ; Mikulík, Petr (oponent) ; Šamořil, Tomáš (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2014
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Úkolem diplomové práce bylo provedení optimalizace procesu přípravy kovové leptací masky pomocí elektronové litografie a následného selektivního mokrého leptání křemíku s krystalografickou orientací (100). Dále byla provedena charakterizace leptaného povrchu a vytvořených struktur. Konkrétně byla pozornost věnována morfologii znázorněné pomocí skenovací elektronové mikroskopie a studiu změny optických vlastností zlatých plazmonických antén vlivem jejich podleptání. The task of master’s thesis was to perform optimalization process for preparing metal etching mask by electron beam litography and subsequent selective wet ething of silicon with crystalographic orientation (100). Further characterization of etched surface and fabricated structures was performed. In particular, attention was given to the morphology demonstrated by scanning electron microscopy and study changes of the optical properties of gold plasmonic antennas due to their undercut.
Klíčová slova: anizotropní mokré leptání; EBL; efektivní index lomu; elektronová litografie; FTIR; hydroxid draselný; KOH; Křemík; leptací maska; plazmonový povrchový polariton; SEM; skenovací elektronový mikroskop; anisotropic wet etching; EBL; effective refractive index; electron beam litography; etching mask; FTIR; KOH; potassium hydroxide; scanning electron microscope; SEM; Silicon; surface plasmon polariton

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/33665

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-231496


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce