Název: STEM modes in SEM
Autoři: Konvalina, Ivo ; Paták, Aleš ; Mikmeková, Eliška ; Mika, Filip ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 20180604
Rok: 2018
Jazyk: eng
Abstrakt: The segmented semiconductor STEM detector in the Magellan 400 FEG SEM microscope\n(https://www.fei.com/) is used to detect transmitted electrons (TEs) and allows observing\nsamples in four imaging modes. Two modes of objective lens, namely high resolution (HR)\nand ultra-high resolution (UHR), differ by their resolution and by the presence or absence of\na magnetic field around the sample. If the beam deceleration (BD) mode is chosen, then\nan electrostatic field around the sample is added and two further microscope modes HR + BD\nand UHR + BD, become available. Trajectories of TEs are studied with regard to their angular\nand energy distribution in each mode in this work.\n
Klíčová slova: SEM; STEM
Číslo projektu: TE01020118 (CEP), LO1212 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar, ISBN 978-80-87441-23-7

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0287599

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-387504


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference