host ::
| Hlavní stránka > Konferenční materiály > Příspěvky z konference > Differential interferometry with suppression of the influence of refractive index of air for nanometrology |
Název:
Differential interferometry with suppression of the influence of refractive index of air for nanometrology
Autoři: Holá, Miroslava ; Číp, Ondřej ; Hrabina, Jan ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANOCON 2012. International Conference /4./, Brno (CZ), 2012-10-23 / 2012-10-25
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: We present an interferometric technique based on differential interferometry setup for measurement in the subnanometer scale in atmospheric conditions. The motivation for development of this ultraprecise technique is coming from the field of nanometrology. The key limiting factor in any optical measurement are fluctuations of the refractive index of air representing a source of uncertainty on the 1*E-6 level when evaluated indirectly from the physical parameters of the atmosphere. Our proposal is based on the concept of overdetermined interferometric setup where a reference length is derived from a mechanical frame made from a material with very low thermal coefficient on the 1*E-8 level. The technique allows to track the variations of the refractive index of air on-line directly in the line of the measuring beam and to compensate for the fluctuations. The optical setup consists of three interferometers sharing the same beam path where two measure differentially the displacement while the third evaluates the changes in the measuring range acting as a tracking refractometer. The principle is demonstrated on an experimental setup and a set of measurements describing the performance is presented.
Klíčová slova: interferometry; nanometrology; nanopositioning; refraktometry
Číslo projektu: GA102/09/1276 (CEP), GPP102/11/P820 (CEP), TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA ČR, GA TA ČR, GA TA ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings, ISBN 978-80-87294-32-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0215564
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-135488
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Autoři: Holá, Miroslava ; Číp, Ondřej ; Hrabina, Jan ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANOCON 2012. International Conference /4./, Brno (CZ), 2012-10-23 / 2012-10-25
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: We present an interferometric technique based on differential interferometry setup for measurement in the subnanometer scale in atmospheric conditions. The motivation for development of this ultraprecise technique is coming from the field of nanometrology. The key limiting factor in any optical measurement are fluctuations of the refractive index of air representing a source of uncertainty on the 1*E-6 level when evaluated indirectly from the physical parameters of the atmosphere. Our proposal is based on the concept of overdetermined interferometric setup where a reference length is derived from a mechanical frame made from a material with very low thermal coefficient on the 1*E-8 level. The technique allows to track the variations of the refractive index of air on-line directly in the line of the measuring beam and to compensate for the fluctuations. The optical setup consists of three interferometers sharing the same beam path where two measure differentially the displacement while the third evaluates the changes in the measuring range acting as a tracking refractometer. The principle is demonstrated on an experimental setup and a set of measurements describing the performance is presented.
Klíčová slova: interferometry; nanometrology; nanopositioning; refraktometry
Číslo projektu: GA102/09/1276 (CEP), GPP102/11/P820 (CEP), TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA ČR, GA TA ČR, GA TA ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings, ISBN 978-80-87294-32-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0215564
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-135488
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Záznam vytvořen dne 2013-01-04, naposledy upraven 2021-11-24.