Název: Structuring of diamond films by reactive ion plasma etching
Autoři: Domonkos, M. ; Ižák, Tibor ; Proška, J. ; Kromka, Alexander
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Nanomateriály a nanotechnologie ve stavebnictví 2012 (NaNS 2012), Praha (CZ), 2012-09-11 / 2012-09-11
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: In this study, two common strategies of diamond film structuring are described. Main focus is on the comparison of top-down and the bottom-up strategies. The top-down strategy is primary related to dry reactive ion etching through masking materials (or even without mask), while bottom-up strategy is based on selective area deposition of diamond film. Several methods of both strategies are demonstrated in details in the article, regarding to their properties and basic principles.
Klíčová slova: diamond thin films; nanostructuring; reactive ion etching; scanning electron microscopy
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100521 (CEP), GAP108/12/0910 (CEP), GAP108/11/0794 (CEP), IAAX00100902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: Nanomateriály a nanotechnologie ve stavebnictví 2012 (NaNS 2012), ISBN 978-80-01-05132-0

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0218280

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-151626


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference