Název: Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu
Překlad názvu: Deposition methods of thin films using low-temperature plasma
Autoři: GÜNZEL, Martin
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2013
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato diplomová práce je zaměřena na popis vybraných metod nanášení tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu. V současné době existuje mnoho způsobů vytváření tenkých filmů a mnoho aplikací v nejrůznějších průmyslových odvětvích. V této práci je nejprve uveden stručný přehled nanášecích metod, chování plazmatu během nanášení a následně popis principu vybraných metod nanášení vzhledem k fyzikálním a chemickým procesům. Zmiňujeme též výhody a nevýhody popisovaných nanášecích technologií a několik konkrétních příkladů jejich využití. Práce by měla přispívat k celkovému přehledu moderních nanášecích technologií, jejich rozvoji a využití v současné době, popř. možnostech využití v budoucnosti. This thesis is focused on the description of selected deposition methods of thin films using low-temperature plasma. Currently, many various technologies of thin films are developed and there are many applications in various industrial sectors. This thesis first gives a brief overview of deposition methods, plasma behavior during deposition and subsequent description of the selected methods of application due to the physical and chemical processes. They also discussed the advantages and disadvantages of the described coating technologies, and several examples of their use. The thesis should thus contribute to the overall view of modern coating technologies, their development and use currently, or possible use in the future.
Klíčová slova: depozice; modifikace povrchu; nízkoteplotní plazma; Technologie povrchových úprav materiálů; tenké vrstvy; deposition; low-temperature; plasma; Surface engineering; surface modification; thin solid films
Citace: GÜNZEL, Martin. Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu. České Budějovice, 2013. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Pedagogická fakulta

Instituce: Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v digitálním repozitáři JČU.
Původní záznam: http://www.jcu.cz/vskp/18129

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-156150


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce