host ::
| Hlavní stránka > Konferenční materiály > Příspěvky z konference > Interferometric coordinates measurement sytem for local probe microscopy nanometrology |
Název:
Interferometric coordinates measurement sytem for local probe microscopy nanometrology
Autoři: Hrabina, Jan ; Lazar, Josef ; Klepetek, P. ; Číp, Ondřej ; Čížek, Martin ; Holá, Miroslava ; Šerý, Mojmír
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANOCON 2013. International Conference /5./, Brno (CZ), 2013-10-16 / 2013-10-18
Rok: 2014
Jazyk: eng
Abstrakt: We present an overview of new approaches to the design of nanometrology measuring system with a focus on methodology of nanometrology interferometric techniques and associated problems. The design and development of a nanopositioning setup with interferometric multiaxis monitoring and control involved for scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of the sample profile is presented. Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro- and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. The system is being developed in cooperation with the Czech metrology institute and it is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length.
Klíčová slova: Interferometry; Local probe microscopy; Nanometrology; Nanopositioning; Traceability
Číslo projektu: GPP102/11/P820 (CEP), FR-TI2/705 (CEP), TA01010995 (CEP), TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP), ED0017/01/01, EE2.4.31.0016
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA MPO, GA TA ČR, GA TA ČR, GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: NANOCON 2013, 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE, ISBN 978-80-87294-47-5
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0225471
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-161373
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Autoři: Hrabina, Jan ; Lazar, Josef ; Klepetek, P. ; Číp, Ondřej ; Čížek, Martin ; Holá, Miroslava ; Šerý, Mojmír
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANOCON 2013. International Conference /5./, Brno (CZ), 2013-10-16 / 2013-10-18
Rok: 2014
Jazyk: eng
Abstrakt: We present an overview of new approaches to the design of nanometrology measuring system with a focus on methodology of nanometrology interferometric techniques and associated problems. The design and development of a nanopositioning setup with interferometric multiaxis monitoring and control involved for scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of the sample profile is presented. Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro- and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. The system is being developed in cooperation with the Czech metrology institute and it is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length.
Klíčová slova: Interferometry; Local probe microscopy; Nanometrology; Nanopositioning; Traceability
Číslo projektu: GPP102/11/P820 (CEP), FR-TI2/705 (CEP), TA01010995 (CEP), TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP), ED0017/01/01, EE2.4.31.0016
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA MPO, GA TA ČR, GA TA ČR, GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: NANOCON 2013, 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE, ISBN 978-80-87294-47-5
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0225471
Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-161373
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
Záznam vytvořen dne 2013-11-05, naposledy upraven 2021-11-24.