Název: Detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence
Překlad názvu: White-light interference fringe center detection in white-light interferometry
Autoři: Pikálek, Tomáš ; Fořt, Tomáš ; Buchta, Zdeněk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Laser54, Třešť (CZ), 2014-10-29 / 2014-10-31
Rok: 2014
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Interferometrie nízké koherence je moderní diagnostická metoda využívaná např. k bezkontaktní analýze profilu povrchů, měření tloušťky tenkých vrstev nebo i ke kalibraci koncových měrek. [1, 2] Základní úlohou v interferometrii nízké koherence je při použití Michelsonova interferometru najít takovou polohu měřicího zrcadla, při které jsou optické dráhy v obou větvích interferometru stejné, tedy nalézt střed bílého interferenčního proužku. Při použití pole fotodetektorů na výstupu interferometru je pak tímto způsobem možné získat informaci o struktuře analyzovaného povrchu. Článek se zaměřuje na metody, které analyzují intenzitu na výstupu interferometru v závislosti na poloze měřicího zrcadla. Tyto metody je možné obecně rozdělit na metody detekující v interferenčním signálu maximum a metody detekující maximum obálky signálu. This paper deals with interference fringe center detection techniques used in low-coherence interferometry for contactless surface analysis. It presents a complex analysis of the experimental data processed by using of various different techniques. The analysis compares those techniques in terms of computational complexity, measurement accuracy and resistance to optical dispersion caused by wedge-shaped optical components.
Klíčová slova: interference fringe center detection techniques; low-coherence interferometry; surface analysis
Číslo projektu: GB14-36681G (CEP), TA03010663 (CEP), LO1212 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA TA ČR, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Sborník příspěvků multioborové konference Laser54, ISBN 978-80-87441-13-8

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0238713

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-177550


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference