Název: SMV-2015-13: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky
Překlad názvu: SMV-2015-13: Relief structures based on diffractive optics
Autoři: Krátký, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Horáček, Miroslav ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2015
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou. Výzkum zahrnuje analýzu optického motivu, výzkum a aplikaci reliéfních struktur realizujících požadované optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální realizace reliéfních struktur, vypracování a analýzu technologie realizace reliéfní struktury s ohledem na limity současných vědeckých přístrojů, ověření teoretických úvah expozicí vzorku reliéfní struktury. Research and development in the field of physical realization of optical structures based on the principle of diffractive optics by means of electron beam lithography in a recording material supported by a silicon or glass board. The research covers the analysis of the optical motive, research and application of relief structures implementing the required optical properties, research and modeling of the physical possibilities of implementation of relief structures, preparation and analysis of technology of implementation of relief structures with regard to the limits of current scientific instruments, verification of theoretical considerations by means of relief structure sample exposure.
Klíčová slova: diffractive optical structures; e-beam lithography; relief structure

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0253795

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-201296


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy