Název: Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Překlad názvu: MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites
Autoři: Šeda, Miroslav ; Musil, Vladislav (oponent) ; Ficek, Richard (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2008
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru. The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
Klíčová slova: depozice; depozice z pevné fáze; depozice z plynné fáze; leptání; litografie; Mikro-elektro-mechanické systémy; skenovací elektronový mikroskop.; uhlíkové nanotrubice; carbon nanotubes; deposition; etching; litography; Micro – electro – mechanical - sytems; physical vapour deposition scanning electron microscopy.; plasma enhanced chemical vapour deposition

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/770

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-217234


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce