Název: Selektivní růst kovových materiálů na čistých a oxidovaných substrátech.
Překlad názvu: Selective growth of metallic materials on clean and oxidized substrates.
Autoři: Koňáková, Kateřina ; Cháb, Vladimír (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2008
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Diplomová práce pojednává o studiu morfologie tenké vrstvy kobaltu na čistém Si(111) a na Si(111) s tenkou vrstvou oxidu křemičitého pomocí metod AFM a XPS. Je také studií selektivního růstu kobaltu na mřížkách vytvořených pomocí fokusovaného iontového svazku a elektronové litografie. Dále je zkoumán růst kovových materiálů (Fe, Co) na povrchovém oxidu vytvořeném na Ni3Al(111). The diploma thesis deals with morphology of cobalt thin film on clean Si(111) and on silicon dioxide thin film on Si(111) studied by AFM and XPS. It is also study of selective growth of cobalt on lattice made by focused ion beam and electron lithography. In the last part, the growth of metals (Fe, Co) on surface oxide on Ni3Al(111) was studied.
Klíčová slova: AFM; Co; klastry; kobalt; křemík; oxid křemičitý; povrchový oxid na Ni3Al; selektivní růst; Si; SiO2; STM; XPS; AFM; clusters; Co; cobalt; selective growth; Si; silicon; silicon dioxide; SiO2; STM; surface oxide on Ni3Al; XPS

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/15529

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-228255


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce