Název:
Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách
Překlad názvu:
Study on the behavior of heavy metals in gettering multilayers
Autoři:
Gretz, Leoš ; Lysáček, David (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2010
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Cílem práce je analyzovat chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách (tvořených vrstvami polykrystalického křemíku oddělených vrstvami oxidu křemíku) a porovnat ho s getračním chováním ve vrstvách tvořených pouze polykrystalickým křemíkem.
This thesis is devoted to the behavior of heavy metals in gettering multilayers made of polysilicon and silicon oxide.
Klíčová slova:
hloubkové profilování; kontaminace; Si deska; SIMS; contamination; depth profiling; Si wafer; SIMS
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/23047