Název: Scanning transmission microscopy at very low energies
Autoři: Müllerová, Ilona ; Mikmeková, Eliška ; Konvalina, Ivo ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr (CZ), 20160529
Rok: 2016
Jazyk: eng
Abstrakt: To operate down to units of eV with a small primary spot size, a cathode lens with a biased specimen was introduced into the SEM. The reflected signal, accelerated secondary and backscattered electrons, is collected by detectors situated above the specimen.\nWhen we insert a detector below the specimen, the transmitted electron signal can also be used for imaging down to zero energy. Fig. 1 also shows an example of the simulated signal trajectories of electrons that impact on the detector of reflected electrons, based on an Yttrium Aluminium Garnet (YAG) crystal, and trajectories of electrons transmitted through the specimen and incident on a semiconductor detector based on the PIN structure.
Klíčová slova: electron microscopy; SEM
Číslo projektu: TE01020118 (CEP), LO1212 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA TA ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-87441-17-6
Poznámka: Související webová stránka: http://www.trends.isibrno.cz/

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0260338

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-253626


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference