Název:
Studium diagnostických systémů pro plazmové zdroje určené pro depozice tenkých vrstev ( s aplikací v plazmochemii)
Překlad názvu:
A study of diagnostic systems for plasma sources designed for deposition of thin films (with an applicaton in plasma chemistry)
Autoři:
Virostko, Petr ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Pavlík, Jaroslav (oponent) ; Biederman, Hynek (oponent) ; Zajíčková, Lenka (oponent) Typ dokumentu: Disertační práce
Rok:
2010
Jazyk:
eng