Název: Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony
Překlad názvu: Very Low Energy Scanning Electron Microscopy
Autoři: Hrnčiřík, Petr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Rok: 2005
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Hlavním cílem práce je in-situ srovnání signálů v pomalých a Augerových elektronech v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Součástí práce je dokončení experimentálního zařízení, provedení simulací a výpočtů jeho vlastností a interpretace získaných obrazových dat. Main goal of the work is in-situ comparison of signals in slow and Auger electrons in Scanning Electron Microscope. Construction of experimental device, computer simulations and calculations of properties of the device and interpretation of getting data are parts of the work.
Klíčová slova: Auger spectroscopy; Scanning Low Energy Electron Microscopy; Ultrahigh vacuum
Číslo projektu: KJB2065405 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111288

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31948


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference