Název: Sběrová účinnost ET detektoru sekundárních elektronů v REM
Překlad názvu: The collection efficiency of the ET detector of the secondary electrons in SEM
Autoři: Konvalina, Ivo ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Rok: 2005
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti ET detektoru sekundárních elektronů a studováním vlivů elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují trajektorie sekundárních elektronů. This work is focused on the simulations of the collection efficiency of the ET detector of the secondary electrons. The influences of the electrostatic and magnetic fields and geometrical parameters, that influence trajectories of secondary electrons, are studied.
Klíčová slova: collection efficiency; ET detector; secondary electrons
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: Mikroskopie 2005

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111556

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31983


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference