Název:
Konstrukce nízkoenergiového REM
Překlad názvu:
Design of low energy SEM
Autoři:
Vlček, Ivan Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Rok:
2005
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Příspěvek stručně představuje hlavní znaky navrhovaného rastrovacího mikroskopu s nízkou energií elektronů.Paper briefly describes main features of proposed low-energy electron scanning microscope.
Klíčová slova:
CCD detector; low energy SEM; Wien filter Číslo projektu: GA202/03/1575 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Mikroskopie 2005
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111558