Název: Výzkumná zpráva Projekt MidFree
Překlad názvu: Research report Project Midfree
Autoři: Beneš, Jiří ; Matoušek, Ondřej ; Špína, Michal ; Tomka, David
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Výzkumná zpráva popisující model procesního řetězce, metodiky měření a charakterizace středních frekvencí (MSF), vibrací a hodnocení nástrojů. Research report describing the process chain model, MSF measurement methodology, vibration and tool evaluation.
Klíčová slova: mid spatial frequencies measurement; vibration measurement
Číslo projektu: LO1206 (CEP), CZ.01.1.02/0.0/0.0/15_019/0004798
Poskytovatel projektu: GA MŠk

Instituce: Ústav fyziky plazmatu AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0290560

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-390708


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky plazmatu
Zprávy > Výzkumné zprávy