Název: The Performance of Amorphous Carbon Films with Silicon Content Deposited Using Low Pressure PECVD
Překlad názvu: Funkčnost amorfních uhlíkových povlaků s obsahem křemíku deponovaných použitím nízkotlaké PECVD
Autoři: Sobota, Jaroslav ; Buršíková, V. ; Fořt, T. ; Grossman, Jan ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří ; Franta, D. ; Peřina, Vratislav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Vrstvy a povlaky 2008, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-09-29 / 2008-09-30
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Amorphous carbon films with silicon content were deposited using low pressure PECVD. The films were optimised for deposition on steel substrates. To evaluate the impact resistance of graded amorphous carbon films in dynamic loading wear applications an impact test has been used. Amorfní vrstvy uhlíku dopované křemíkem byly deponovány PECVD. Vrstvy byly optimalizovány pro depozici na ocelové podložky. K vyhodnocení chování při dynamickém zatěžování byl použit impaktní tester.
Klíčová slova: DLC; impact tests; mechanical properties; PECVD
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z20410507 (CEP), CEZ:AV0Z10480505 (CEP), GA202/07/1669 (CEP), KAN311610701 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: Vrstvy a povlaky 2008, ISBN 978-80-969310-7-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0004883

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39462


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference