Název: Study of the Mechanical Properties of Diamond-like Carbon Thin Films Deposited in Single and Dual Frequency Capacitive Discharges
Překlad názvu: Studium mechanických vlastností DLC tenkých vrstev deponovaných v jedno a dvoufrekvenčním kapacitním výboji
Autoři: Buršíková, V. ; Stoica, A. ; Sobota, Jaroslav ; Grossman, Jan ; Fořt, Tomáš ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří ; Bláhová, O.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CESPC II. - Central European Symposium on Plasma Chemistry /2./, Brno (CZ), 2008-08-31 / 2008-09-04
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Nanostructured diamond-like carbon coatings were deposited on several different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in single (13.56 MHz) and dual capacitive r.f. discharges (LF=100-300kHz, HF =13.56 MHz). The objective of our study was to find the optimum combination of the high and low frequency (continuous or pulsed) excitation enabling to cover uneven substrate surfaces and significant lowering of the internal stress in films. Nanostrukturované DLC povlaky byly deponovány na několik různých podložek (křemík, sklo, polykarbonát a ocel) v jedno(13.56 MHz) a dvoufrekvenčním kapacitním vysokofrekvenčním výboji(LF=100-300kHz, HF =13.56 MHz). Cílem bylo nalézt optimální kombinaci vysoko a nízko frekvenční (kontinualní nebo pulzní)excitace, umožňující jak pokrytí různých podložek tak významně snížit vnitřní napětí v povlacích.
Klíčová slova: adhesion; DLC; hardness; PACVD
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z20410507 (CEP), GA202/07/1669 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: 2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry, Book of Extended Abstracts, ISBN N

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0166490

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39532


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference