Název: Analýzy čerpání v experimentální komoře pro elektronový mikroskop pomocí systému ANSYS
Překlad názvu: Pumping analysis in the experimental chamber for electron microscope using ANSYS system
Autoři: Dostalová, Petra ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2019
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Bakalářská práce se zabývá problematikou čerpání v diferenciálně čerpané komoře environmentálního elektronového mikroskopu. V teoretické části je popsána mikroskopie obecně. Poté se práce zabývá konkrétně environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií s problematikou jejího vakuového systému, výpočetními programy a studií, ze které práce vychází. V praktické části jsou provedeny a vyhodnoceny simulace čerpání v experimentální komoře pomocí systému Ansys Fluent. The thesis is focused on issue of pumping in the differential pumped chambre of an environmental scanning microcope. In the theoretical part, there are presented microscopy as science. Afterwards the thesis is focused on environmental scanning electron microscopy and its problem and vakuum system, computer program used for preparation of simulation and study that the experimental part is based on. The experimental part contains the results of gas flow in the differential pumped chambre. The problematics were solved by Ansys Fluent system.
Klíčová slova: ANSYS Fluent; diferenciálně čerpaná komora; Elektronová mikroskopie; environmentální rastrovací elektronový mikroskop; ANSYS Fluent; Differentially pumped chamber; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/173828

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-401420


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce