Název: Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty
Překlad názvu: Nanocompression of oriented pillars from Al thin film
Autoři: Kuběna, Ivo ; Kruml, Tomáš
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: ENGINEERING MECHANICS 2010, Svratka (CZ), 2010-05-10 / 2010-05-13
Rok: 2010
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích. In this paper, a new method of measurement of mechanical properties of thin films is presented. This method combines specimen preparation by focused ion beam (FIB) and compression test using nanoindentation device. Compression specimens were prepared from thin film, Al-1.5%Cu, which is commonly used in integrated circuit. Cylindrical specimens were prepared by FIB milling. The height of specimens (pillars) was about 2 mircrometers (equal to the film thickness) and their diameter was about 1.3 micrometers. The pillars are single crystalline, therefore the results depend on crystallographic orientation of pillar, which was specified by EBSD (electron backscatter diffraction). Stress-strain curves of the thin film were obtained in two representations.
Klíčová slova: focused ion beam; nanocompression; thin Al film
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20410507 (CEP)
Zdrojový dokument: Engineering Mechanics 2010, ISBN 978-80-87012-26-0

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0193030

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-42374


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference