Název: SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu: SMV-2023-06: Development of test specimens for SEM
Autoři: Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Meluzín, Petr ; Košelová, Zuzana ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Knápek, Alexandr
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2023
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Studie se zaměřuje na výzkum a vývoj přesných kalibračních vzorků s reliéfními strukturami. Tyto vzorky jsou navrženy ke kalibraci zobrazování ve skenovacích elektronových mikroskopech (SEM). Testovací vzory umožňují ověření a kalibraci zvětšení, ortogonality a geometrického zkreslení. Příprava kalibračních vzorků využívá mikro litografické techniky přizpůsobené pro zpracování křemíku a dalších související technologické postupy. The study focuses on the research and development of precise calibration samples featuring relief structures. These samples are designed for calibrating parameters in scanning electron microscopes (SEM). The testing patterns enable the verification and calibration of magnification, orthogonality, and geometric distortion. The preparation of calibration specimens utilizes micro lithographic techniques tailored for silicon processing and other relevant technological procedures.
Klíčová slova: e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11104/0347946

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-537227


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy